半導體技術
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Microelectromechanical Systems
Microelectromechanical Systems
講師：
Dr. Sheng-Shian Li
課程時長：
135 分鐘
課程單元：
3
語言：
英文
課程描述
Lesson 1: Introduction to MEMS Fabrication Technology
Lesson 2: Capacitive Sensors and Actuators
Lesson 3: Piezoelectric Sensors and Actuators
課程大綱
34:48
50:09
50:09