Speaker：
Dr. Po-Wen Chiu
Duration：
285 mins
Lectures：
6
Language：
en
SESSION 1：
Lesson 1: Si properties
Lesson 2: Cleaning
SESSION 2：
Lesson 3: CMOS process flow
SESSION 3：
Lesson 4: Optical lithography
SESSION 4：
Lesson 5: Oxidation
Lesson 6: Ion implantation
SESSION 5：
Lesson 7: Diffusion
Lesson 8: Etching
SESSION 6：
Lesson 9: Deposition
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